Pwoteksyon anviwònman an peye pi plis ak plis atansyon, espesyalman ak ogmantasyon nan move tan brouyar.Jeni chanm pwòp se youn nan mezi pwoteksyon anviwònman an.Ki jan yo sèvi ak jeni chanm pwòp pou fè yon bon travay nan pwoteksyon anviwònman an?Ann pale sou kontwòl nan jeni chanm pwòp.
Kontwòl tanperati ak imidite nan chanm pwòp
Tanperati a ak imidite nan espas pwòp yo detèmine sitou ki baze sou kondisyon pwosesis, men lè satisfè kondisyon pwosesis, konfò moun yo ta dwe pran an kont.Ak amelyorasyon nan kondisyon pwòpte lè a, gen yon tandans nan kondisyon pi sevè pou tanperati ak imidite nan pwosesis.
Kòm yon prensip jeneral, akòz ogmante presizyon nan pwosesis, kondisyon yo pou ranje fluctuation tanperati yo ap vin pi piti ak pi piti.Pou egzanp, nan pwosesis litografi ak ekspoze nan gwo-echèl pwodiksyon sikwi entegre, diferans lan nan koyefisyan ekspansyon tèmik ant vè ak Silisyòm wafers yo itilize kòm materyèl mask ap vin de pli zan pli piti.
Yon wafer Silisyòm ak yon dyamèt 100 μ m lakòz yon ekspansyon lineyè 0.24 μ m lè tanperati a monte pa 1 degre.Se poutèt sa, yon tanperati konstan nan ± 0.1 ℃ nesesè, ak valè imidite a jeneralman ba paske apre swe, pwodwi a pral kontamine, espesyalman nan atelye semi-conducteurs ki pè sodyòm.Kalite atelye sa a pa ta dwe depase 25 ℃.
Twòp imidite lakòz plis pwoblèm.Lè imidite relatif la depase 55%, kondansasyon ap fòme sou miray tiyo dlo refwadisman an.Si li rive nan aparèy presizyon oswa sikui, li ka lakòz aksidan divès kalite.Lè imidite relatif la se 50%, li fasil pou rouye.Anplis de sa, lè imidite a twò wo, pousyè ki adhere ak sifas wafer Silisyòm lan pral chimikman adsorbed sou sifas la atravè molekil dlo nan lè a, ki difisil pou retire.
Plis imidite relatif la pi wo, se pi difisil pou retire adezyon an.Sepandan, lè imidite relatif la se pi ba pase 30%, patikil yo tou fasil adsorbed sou sifas la akòz aksyon an nan fòs elektwostatik, ak yon gwo kantite aparèy semi-conducteurs yo gen tandans fè pann.Ranje tanperati optimal pou pwodiksyon wafer Silisyòm se 35-45%.
Presyon lèkontwòlnan chanm pwòp
Pou pifò espas pwòp, yo nan lòd yo anpeche polisyon ekstèn soti nan anvayi, li nesesè kenbe presyon entèn (presyon estatik) pi wo pase presyon ekstèn (presyon estatik).Antretyen diferans presyon an ta dwe jeneralman konfòme yo ak prensip sa yo:
1. Presyon nan espas pwòp yo ta dwe pi wo pase sa ki nan espas ki pa pwòp.
2. Presyon an nan espas ki gen nivo pwòpte segondè ta dwe pi wo pase sa ki nan espas adjasan ak nivo pwòpte ki ba.
3. Pòt ki genyen ant chanm pwòp yo ta dwe louvri nan direksyon pou chanm ki gen nivo pwòpte segondè.
Antretyen nan diferans presyon depann sou kantite lè fre, ki ta dwe kapab konpanse pou flit lè a soti nan espas sa a anba diferans presyon sa a.Se konsa, siyifikasyon fizik diferans presyon se rezistans nan koule lè flit (oswa enfiltrasyon) nan divès twou vid ki genyen nan chanm pwòp.
Tan pòs: 21-Jul-2023