Pwoteksyon anviwònman an ap resevwa pi plis atansyon, sitou ak ogmantasyon tan bwouya a. Jeni chanm pwòp se youn nan mezi pwoteksyon anviwònman an. Kijan pou itilize jeni chanm pwòp pou fè yon bon travay nan pwoteksyon anviwònman an? Ann pale sou kontwòl nan jeni chanm pwòp.
Kontwòl tanperati ak imidite nan chanm pwòp
Yo detèmine tanperati ak imidite espas pwòp yo sitou dapre egzijans pwosesis la, men lè y ap satisfè egzijans pwosesis yo, yo dwe pran konfò moun an konsiderasyon. Avèk amelyorasyon egzijans pwòpte lè a, gen yon tandans pou egzijans ki pi strik pou tanperati ak imidite nan pwosesis la.
Kòm yon prensip jeneral, akòz presizyon pwosesis la k ap ogmante, egzijans pou ranje varyasyon tanperati yo ap vin pi piti chak jou. Pa egzanp, nan litografi ak pwosesis ekspozisyon pou pwodiksyon sikwi entegre sou gwo echèl, diferans ki genyen nan koyefisyan ekspansyon tèmik ant vè ak plak silikon yo itilize kòm materyèl mask ap vin pi piti chak jou.
Yon waf silikon ki gen yon dyamèt 100 μm lakòz yon ekspansyon lineyè 0.24 μm lè tanperati a ogmante pa 1 degre. Se poutèt sa, yon tanperati konstan ± 0.1 ℃ nesesè, epi valè imidite a jeneralman ba paske apre swe, pwodwi a ap kontamine, sitou nan atelye semi-kondiktè ki pè sodyòm. Kalite atelye sa a pa ta dwe depase 25 ℃.
Twòp imidite lakòz plis pwoblèm. Lè imidite relatif la depase 55%, kondansasyon ap fòme sou miray tiyo dlo refwadisman an. Si sa rive nan aparèy presizyon oswa sikui, li ka lakòz divès aksidan. Lè imidite relatif la se 50%, li fasil pou rouye. Anplis de sa, lè imidite a twò wo, pousyè ki kole sou sifas waf silikon an pral absòbe chimikman sou sifas la atravè molekil dlo nan lè a, sa ki difisil pou retire.
Plis imidite relatif la wo, se plis li difisil pou retire adezyon an. Sepandan, lè imidite relatif la anba 30%, patikil yo tou fasil pou adsorbe sou sifas la akòz aksyon fòs elektwostatik la, epi yon gwo kantite aparèy semi-kondiktè gen tandans kraze. Entèval tanperati optimal pou pwodiksyon waf silikon se 35-45%.
Presyon lè akontwòlnan chanm pwòp
Pou pifò espas pwòp, pou anpeche polisyon ekstèn anvayi espas yo, li nesesè pou kenbe presyon entèn (presyon estatik) pi wo pase presyon ekstèn (presyon estatik). Anjeneral, antretyen diferans presyon an ta dwe konfòme li avèk prensip sa yo:
1. Presyon nan espas pwòp yo ta dwe pi wo pase sa ki nan espas ki pa pwòp yo.
2. Presyon nan espas ki gen yon nivo pwòpte ki wo ta dwe pi wo pase presyon nan espas adjasan ki gen yon nivo pwòpte ki ba.
3. Pòt ki ant chanm pwòp yo ta dwe louvri nan direksyon chanm ki gen yon nivo pwòpte ki wo.
Mentni diferans presyon an depann de kantite lè fre ki antre a, ki ta dwe kapab konpanse pou flit lè ki soti nan espas ki anba diferans presyon sa a. Kidonk siyifikasyon fizik diferans presyon an se rezistans flit (oswa enfiltrasyon) lè ki koule nan divès espas nan chanm pwòp la.
Dat piblikasyon: 21 Jiyè 2023