Pwoteksyon anviwònman an peye plis ak plis atansyon, sitou ak ogmante nan move tan. Jeni pwòp chanm se youn nan mezi pwoteksyon anviwònman an. Ki jan yo sèvi ak jeni chanm pwòp fè yon bon travay nan pwoteksyon anviwònman an? Ann pale sou kontwòl la nan jeni chanm pwòp.
Tanperati ak kontwòl imidite nan chanm pwòp
Tanperati a ak imidite nan espas pwòp yo sitou detèmine ki baze sou kondisyon pwosesis, men lè kondisyon pwosesis reyinyon, konfò imen yo ta dwe pran an kont. Avèk amelyorasyon nan kondisyon pwòpte lè, gen yon tandans nan kondisyon sevè pou tanperati a ak imidite nan pwosesis.
Kòm yon prensip jeneral, akòz presizyon nan ogmante nan pwosesis, kondisyon yo pou ranje fluctuation tanperati yo ap vin pi piti ak pi piti. Pou egzanp, nan litografi a ak pwosesis ekspoze nan gwo-echèl pwodiksyon sikwi entegre, diferans lan nan koyefisyan ekspansyon tèmik ant vè ak gato Silisyòm itilize kòm materyèl mask ap vin de pli zan pli ti.
Yon wafer Silisyòm ak yon dyamèt 100 μ m lakòz yon ekspansyon lineyè nan 0.24 μ m lè tanperati a leve pa 1 degre. Se poutèt sa, yon tanperati konstan nan ± 0.1 ℃ nesesè, ak valè a imidite se jeneralman ki ba paske apre swe, pwodwi a pral kontamine, espesyalman nan atelye semi -conducteurs ki pè pou sodyòm. Sa a ki kalite atelye pa ta dwe depase 25 ℃.
Twòp imidite lakòz plis pwoblèm. Lè imidite relatif la depase 55%, kondansasyon ap fòme sou miray dlo a refwadisman tiyo. Si li rive nan aparèy presizyon oswa sikui, li ka lakòz aksidan divès kalite. Lè imidite relatif la se 50%, li fasil pou rouye. Anplis de sa, lè imidite a se twò wo, pousyè a konfòme yo ak sifas la nan wafer la Silisyòm yo pral chimikman adsorbed sou sifas la nan molekil dlo nan lè a, ki se difisil yo retire.
Pi wo a imidite relatif la, pi rèd la li se yo retire Adhesion la. Sepandan, lè imidite relatif la se anba a 30%, patikil yo tou fasil adsorbed sou sifas la akòz aksyon an nan fòs Electrostatic, ak yon gwo kantite aparèy semi -conducteurs yo se tendans pann. Ranje a tanperati pi bon pou pwodiksyon wafer Silisyòm se 35-45%.
Presyon lèkontròlNan chanm pwòp
Pou pifò espas pwòp, yo nan lòd yo anpeche polisyon ekstèn soti nan anvayi, li nesesè yo kenbe presyon entèn (presyon estatik) pi wo pase presyon ekstèn (presyon estatik). Antretyen diferans presyon an ta dwe jeneralman konfòme li avèk prensip sa yo:
1. Presyon an nan espas pwòp yo ta dwe pi wo pase sa ki nan espas ki pa pwòp.
2. Presyon an nan espas ki gen nivo pwòpte segondè yo ta dwe pi wo pase sa ki nan espas adjasan ak nivo pwòpte ki ba.
3. Pòt yo ant chanm pwòp yo ta dwe louvri nan direksyon pou chanm ak nivo pwòpte segondè.
Antretyen diferans presyon an depann de kantite lè fre, ki ta dwe kapab konpanse pou flit lè a soti nan espas sa a anba diferans sa a presyon. Se konsa, siyifikasyon fizik la nan diferans presyon se rezistans nan flit (oswa enfiltrasyon) koule lè nan divès kalite twou vid ki genyen nan chanm pwòp.
Post tan: Jul-21-2023