Se rendement nan chip nan endistri manifakti chip pre relasyon ak gwosè a ak kantite patikil lè depoze sou chip. Bon òganizasyon koule lè ka pran patikil ki soti nan sous pousyè lwen chanm pwòp epi asire pwòpte nan chanm lan. Sa vle di, òganizasyon koule lè a nan cleanroom jwe yon wòl enpòtan anpil nan sede a nan pwodiksyon chip. Objektif yo dwe reyalize nan desen an nan pwòp chanm lè koule òganizasyon yo se: diminye oswa elimine kouran eddy nan jaden koule pou fè pou evite retansyon nan patikil danjere; Pou kenbe yon gradyan ki apwopriye presyon pozitif pou anpeche kontaminasyon kwa.
Dapre prensip la chanm pwòp, fòs yo aji sou patikil gen ladan fòs mas, fòs molekilè, atraksyon ant patikil, fòs koule lè, elatriye.
Airflow Force: refere a fòs la nan vantilasyon ki te koze pa ekipman pou ak retounen vantilasyon, tèmik konveksyon vantilasyon, ajitasyon atifisyèl, ak lòt vantilasyon ak yon to koule sèten yo pote patikil. Pou pwòp chanm anviwònman kontwòl teknoloji, fòs koule lè a se faktè ki pi enpòtan an.
Eksperyans yo te montre ke nan mouvman vantilasyon, patikil swiv vantilasyon an nan prèske egzakteman menm vitès la. Se kondisyon an nan patikil nan lè detèmine pa distribisyon an vantilasyon. Efè prensipal yo nan vantilasyon sou patikil andedan kay la gen ladan yo: vant ekipman pou lè (ki gen ladan vantilasyon prensipal ak vantilasyon segondè), vantilasyon ak tèmik konveksyon vantilasyon ki te koze pa moun ki mache, ak enpak la nan vantilasyon sou patikil ki te koze pa operasyon pwosesis ak ekipman endistriyèl. Diferan metòd ekipman pou lè, interfaces vitès, operatè yo ak ekipman endistriyèl, fenomèn pwovoke, elatriye nan cleanrooms yo tout faktè ki afekte nivo a pwòpte.
1. Enfliyans nan metòd ekipman pou lè a
(1) vitès ekipman pou lè a
Yo nan lòd yo asire inifòm koule lè, vitès la ekipman pou lè nan koule nan koule unidirectional pwòp chanm yo dwe inifòm; Zòn ki mouri a sou sifas ekipman pou lè a dwe piti; ak gout nan presyon nan filtre HEPA dwe tou inifòm.
Vitès ekipman pou lè a se inifòm: ki se, se inegalite a nan koule nan lè kontwole nan ± 20%.
Gen mwens espas ki mouri sou sifas ekipman pou lè a: pa sèlman ta dwe zòn nan avyon nan ankadreman an HEPA redwi, men pi enpòtan, FFU modilè yo ta dwe itilize yo senplifye ankadreman an redondants.
Yo nan lòd yo asire ke koule nan lè a se vètikal ak unidirectional, seleksyon an gout presyon nan filtre a se tou trè enpòtan, epi li se obligatwa ki pèt la presyon nan filtre a pa ka partial.
(2) Konparezon ant sistèm FFU ak sistèm fanatik axial koule
FFU se yon inite ekipman pou lè ak yon fanatik ak filtre HEPA. Se lè a aspire nan pa fanatik la santrifujeur nan FFU a ak konvèti presyon an dinamik nan presyon estatik nan adezif la lè. Li se kònen soti respire pa HEPA filtre. Presyon ekipman pou lè a sou plafon an se presyon negatif. Fason sa a pa gen okenn pousyè ap koule nan chanm pwòp lè ranplase filtre la. Eksperyans yo te montre ke sistèm nan FFU se siperyè a sistèm nan fanatik axial koule an tèm de inifòmite priz lè, paralelis koule lè ak vantilasyon efikasite endèks. Sa a se paske paralelis nan koule lè nan sistèm nan FFU se pi bon. Itilize sistèm FFU a ka amelyore òganizasyon koule lè a nan chanm pwòp.
(3) Enfliyans nan estrikti pwòp FFU a
FFU se sitou ki konpoze de fanatik, filtè, gid koule lè ak lòt konpozan. Filtre a HEPA se garanti ki pi enpòtan pou chanm pwòp yo reyalize pwòpte ki nesesè yo mande nan konsepsyon. Materyèl la nan filtre a pral tou afekte inifòmite nan jaden an koule. Lè se yon materyèl filtre ki graj oswa yon plak koule ajoute nan priz la filtre, jaden an koule priz ka fasil fè inifòm.
2. Enpak nan koòdone vitès ak pwòpte diferan
Nan menm chanm nan pwòp, ant zòn nan ap travay ak zòn nan ki pa travay ak koule vètikal unidirectional, akòz diferans lan nan vitès lè a nan bwat la HEPA, yon efè toubiyon melanje pral rive nan koòdone a, ak koòdone sa a ap vin yon ajite ajite. Zòn Airflow. Entansite a nan ajitasyon lè se patikilyèman fò, ak patikil yo ka transmèt nan sifas la nan machin nan ekipman ak kontamine ekipman an ak gato.
3. Enpak sou anplwaye ak ekipman
Lè chanm pwòp la vid, karakteristik yo ki koule lè nan chanm jeneralman satisfè kondisyon yo ki konsepsyon. Yon fwa ekipman antre nan cleanroom, moun deplase, ak pwodwi yo transpòte, gen inevitableman obstak nan òganizasyon an koule lè, tankou pwen byen file ki vle pèse anvlòp soti nan machin nan ekipman yo. Nan kwen yo oswa bor, gaz la ap devye yo fòme yon zòn koule ajite, ak likid la nan zòn nan pa pral fasil pote ale nan gaz la fèk ap rantre, konsa sa ki lakòz polisyon.
An menm tan an, sifas ekipman mekanik la pral chofe akòz operasyon kontinyèl, ak gradyan tanperati a pral lakòz yon zòn reflow tou pre machin lan, ki ogmante akimilasyon nan patikil nan zòn refwadisman. An menm tan an, tanperati a segondè pral fasil lakòz patikil yo chape. Efè a doub entansifye kouch an jeneral vètikal. Difikilte pou la nan kontwole pwòpte kouran. Pousyè soti nan operatè nan chanm pwòp ka fasilman konfòme yo ak gato nan zòn sa yo reflow.
4. Enfliyans nan etaj lè retounen
Lè rezistans nan lè a retounen pase nan etaj la se diferan, diferans lan presyon pral rive, sa ki lakòz lè a koule nan yon direksyon ki nan ti rezistans, ak koule lè inifòm pa pral jwenn. Metòd aktyèl konsepsyon popilè a se pou itilize yon etaj ki wo. Lè rapò a ouvèti nan etaj la ki wo se nan 10%, ka vitès la koule lè dwe respire distribye nan wotè a andedan kay la k ap travay. Anplis de sa, yo ta dwe atansyon strik dwe peye nan travay netwaye diminye sous la nan polisyon sou planche a.
5. fenomèn endiksyon
Sa yo rele fenomèn nan endiksyon refere a fenomèn nan génération vantilasyon nan direksyon opoze a koule nan inifòm, pwovoke pousyè ki te pwodwi nan chanm oswa pousyè nan zòn adjasan ki kontamine nan bò a upwind, kidonk sa ki lakòz pousyè a kontamine wafer la. Fenomèn posib induit gen ladan sa ki annapre yo:
(1) Plak avèg
Nan yon chanm pwòp ak vètikal yon sèl-fason koule, akòz jwenti yo sou miray la, gen jeneralman gwo panno avèg ki pral pwodwi koule ajite ak ralanti lokal yo.
(2) lanp
Enstalasyon ekleraj nan chanm pwòp pral gen yon pi gwo enpak. Depi chalè a nan lanp lan fliyoresan lakòz vantilasyon an ap monte, lanp lan fliyoresan pa pral vin yon zòn ajite. Anjeneral, lanp yo nan chanm pwòp yo fèt nan yon fòm teardrop diminye enpak la nan lanp yo sou òganizasyon vantilasyon.
(3) twou vid ki genyen ant mi yo
Lè gen twou vid ki genyen ant mi patisyon oswa plafon ak kondisyon pwòpte diferan, pousyè ki soti nan zòn ki gen kondisyon pwòpte ki ba yo ka transfere nan zòn adjasan ak kondisyon pwòpte segondè.
(4) Distans ki genyen ant ekipman mekanik la ak etaj la oswa miray la
Si diferans ki genyen ant ekipman mekanik la ak etaj la oswa miray la se ti, ajitasyon detant ap fèt. Se poutèt sa, kite yon espas ant ekipman an ak miray la ak ogmante platfòm la machin pou fè pou evite kontak dirèk ak tè a.
Post tan: Nov-02-2023