Sede a chip nan endistri manifakti chip se pre relasyon ak gwosè a ak kantite patikil lè depoze sou chip. Bon òganizasyon koule lè ka pran patikil ki pwodui nan sous pousyè tè lwen chanm pwòp epi asire pwòpte chanm pwòp la. Sa vle di, òganizasyon koule lè a nan cleanroom jwe yon wòl enpòtan anpil nan pwodiksyon chip. Objektif yo dwe reyalize nan konsepsyon an nan chanm pwòp òganizasyon koule lè yo se: diminye oswa elimine kouran eddy nan jaden koule pou fè pou evite retansyon nan patikil danjere; pou kenbe yon gradyan presyon pozitif apwopriye pou anpeche kwa-kontaminasyon.
Dapre prensip chanm pwòp, fòs yo aji sou patikil yo enkli fòs mas, fòs molekilè, atraksyon ant patikil, fòs koule lè, elatriye.
Fòs Airflow: refere a fòs la nan koule lè ki te koze pa koule lè rezèv ak retounen, koule lè konveksyon tèmik, ajitasyon atifisyèl, ak lòt koule lè ak yon to koule sèten pou pote patikil. Pou kontwòl teknoloji anviwònman chanm pwòp, fòs koule lè a se faktè ki pi enpòtan.
Eksperyans yo te montre ke nan mouvman airflow, patikil swiv koule lè a nan prèske egzakteman menm vitès la. Kondisyon patikil nan lè a detèmine pa distribisyon koule lè a. Efè prensipal yo nan koule lè sou patikil andedan kay la gen ladan: koule lè ekipman pou lè (ki gen ladan koule lè prensipal ak koule lè segondè), koule lè ak koule lè konveksyon tèmik ki te koze pa moun k ap mache, ak enpak la nan koule lè sou patikil ki te koze pa operasyon pwosesis ak ekipman endistriyèl. Diferan metòd ekipman pou lè, koòdone vitès, operatè ak ekipman endistriyèl, fenomèn pwovoke, elatriye nan cleanrooms se tout faktè ki afekte nivo pwòpte a.
1. Enfliyans metòd ekipman pou lè
(1) Vitès ekipman pou lè
Yo nan lòd yo asire koule lè inifòm, vitès ekipman pou lè a nan chanm pwòp koule inidiresyonèl la dwe inifòm; zòn ki mouri a sou sifas ekipman pou lè a dwe piti; ak gout presyon nan filtè hepa dwe tou inifòm.
Vitès ekipman pou lè a se inifòm: se sa ki inegalite nan koule lè a kontwole nan ± 20%.
Gen mwens espas mouri sou sifas ekipman pou lè a: pa sèlman ta dwe zòn avyon an nan ankadreman an hepa redwi, men pi enpòtan, modilè FFU yo ta dwe itilize senplifye ankadreman an redondants.
Pou asire ke koule lè a vètikal ak inidireksyon, seleksyon an gout presyon nan filtè a trè enpòtan tou, epi li nesesè pou pèt presyon nan filtè a pa ka patipri.
(2) Konparezon ant sistèm FFU ak sistèm fanatik koule axial
FFU se yon inite ekipman pou lè ki gen yon fanatik ak filtè hepa. Fanatik santrifujeur FFU a aspire lè a epi li konvèti presyon dinamik nan presyon estatik nan kanal lè a. Li soufle respire pa filtre hepa. Presyon ekipman pou lè a sou plafon an se presyon negatif. Nan fason sa a pa gen okenn pousyè pral koule nan chanm pwòp lè ranplase filtè a. Eksperyans yo te montre ke sistèm FFU a siperyè sistèm fanatik koule axial an tèm de inifòmite priz lè, paralèl koule lè ak endèks efikasite vantilasyon. Sa a se paske paralelis koule lè a nan sistèm nan FFU se pi bon. Itilizasyon sistèm FFU a ka amelyore òganizasyon koule lè a nan chanm pwòp.
(3) Enfliyans pwòp estrikti FFU a
FFU se sitou konpoze de fanatik, filtè, gid koule lè ak lòt konpozan. Filtè hepa a se garanti ki pi enpòtan pou chanm pwòp pou reyalize pwòpte ki nesesè pa konsepsyon. Materyèl la nan filtè a pral afekte tou inifòmite nan jaden an koule. Lè yo ajoute yon materyèl filtre ki graj oswa yon plak koule nan priz filtre a, jaden an koule priz ka fasilman fè inifòm.
2. enpak koòdone vitès ak pwòpte diferan
Nan menm chanm pwòp la, ant zòn nan k ap travay ak zòn nan ki pa travay ak koule vètikal unidirectionnelle, akòz diferans lan nan vitès lè nan bwat la hepa, yon efè vortex melanje pral rive nan koòdone a, ak koòdone sa a pral vin yon ajite. zòn koule lè. Entansite ajitasyon lè a se patikilyèman fò, ak patikil yo ka transmèt nan sifas la nan machin nan ekipman ak kontamine ekipman an ak wafers.
3. Enpak sou anplwaye ak ekipman
Lè chanm pwòp vid, karakteristik koule lè a nan chanm jeneralman satisfè kondisyon konsepsyon yo. Yon fwa ekipman antre nan chanm pwòp, moun deplase, ak pwodwi yo transpòte, gen inevitableman obstak nan òganizasyon an koule lè, tankou pwen byen file vle pèse anvlòp nan machin nan ekipman. Nan kwen yo oswa kwen, gaz la pral devye pou fòme yon zòn koule ajite, ak likid la nan zòn nan pa pral fasil pote ale nan gaz la fèk ap rantre, konsa sa ki lakòz polisyon.
An menm tan an, sifas ekipman mekanik la pral chofe akòz operasyon kontinyèl, ak gradyan tanperati a pral lakòz yon zòn reflow toupre machin nan, ki ogmante akimilasyon nan patikil nan zòn reflow. An menm tan an, tanperati a wo pral fasil lakòz patikil yo chape. Efè a doub entansifye an jeneral kouch vètikal la. Difikilte pou kontwole pwòpte kouran dlo. Pousyè ki soti nan operatè yo nan chanm pwòp ka byen fasil konfòme yo ak wafers nan zòn reflow sa yo.
4. Enfliyans etaj lè retounen
Lè rezistans nan lè a retounen pase nan etaj la diferan, diferans lan presyon pral rive, sa ki lakòz lè koule nan direksyon ti rezistans, ak koule lè inifòm pa pral jwenn. Metòd konsepsyon popilè aktyèl la se sèvi ak yon etaj ki wo. Lè rapò a ouvèti etaj ki wo a se nan 10%, vitès koule lè a ka respire distribye nan wotè a k ap travay andedan kay la. Anplis de sa, yo ta dwe peye atansyon strik nan travay netwayaj diminye sous la nan polisyon sou planche a.
5. fenomèn endiksyon
Sa yo rele fenomèn endiksyon an refere a fenomèn nan jenere koule lè nan direksyon opoze a koule inifòm, pwovoke pousyè ki te pwodwi nan chanm oswa pousyè nan zòn ki kontamine adjasan bò van an, kidonk sa ki lakòz pousyè tè a kontamine wafer la. Fenomèn pwovoke posib yo enkli bagay sa yo:
(1) Plak avèg
Nan yon chanm pwòp ak koule vètikal yon sèl-fason, akòz jwenti yo sou miray la, gen jeneralman gwo panno avèg ki pral pwodwi koule ajite ak rflu lokal yo.
(2) Lanp
Aparèy ekleraj nan chanm pwòp pral gen yon pi gwo enpak. Depi chalè a nan lanp fliyoresan lakòz koule lè a monte, lanp fliyoresan an pa pral vin yon zòn ajite. Anjeneral, lanp yo nan chanm pwòp yo fèt nan yon fòm dlo pou diminye enpak lanp yo sou òganizasyon koule lè.
(3) Diferans ant mi yo
Lè gen twou vid ki genyen ant miray patisyon oswa plafon ki gen diferan kondisyon pwòpte, pousyè tè ki soti nan zòn ki gen kondisyon pwòpte ki ba yo ka transfere nan zòn adjasan ak kondisyon pwòpte segondè.
(4) Distans ki genyen ant ekipman mekanik la ak etaj la oswa miray la
Si diferans ki genyen ant ekipman mekanik la ak etaj la oswa miray la piti, tibilans detant ap rive. Se poutèt sa, kite yon espas ant ekipman an ak miray la epi ogmante platfòm la machin pou fè pou evite kontak dirèk ak tè a.
Lè poste: Nov-02-2023