Pousantaj nan sede chip nan endistri a fabrikasyon IC pre relasyon ak gwosè a ak kantite patikil lè depoze sou chip la. Yon bon òganizasyon vantilasyon ka pran patikil yo ki te pwodwi pa sous la pousyè lwen chanm nan pwòp asire pwòpte nan chanm nan pwòp, se sa ki, òganizasyon an vantilasyon nan chanm pwòp jwe yon wòl enpòtan anpil nan pousantaj la sede nan pwodiksyon IC. Konsepsyon nan òganizasyon an vantilasyon nan chanm pwòp bezwen reyalize objektif sa yo: diminye oswa elimine aktyèl la eddy nan jaden an koule pou fè pou evite retansyon nan patikil danjere; Kenbe yon gradyan ki apwopriye presyon pozitif pou anpeche kontaminasyon kwa.
Fòs vantilasyon
Dapre prensip la chanm pwòp, fòs yo aji sou patikil yo gen ladan fòs mas, fòs molekilè, atraksyon ant patikil, fòs vantilasyon, elatriye.
Airflow Force: refere a fòs la nan vantilasyon an ki te koze pa livrezon an, retounen vantilasyon, tèmik konveksyon vantilasyon, vibran atifisyèl, ak lòt vant ak yon pousantaj koule sèten yo pote patikil yo. Pou kontwòl teknik nan anviwònman chanm pwòp, fòs vantilasyon se faktè ki pi enpòtan an.
Eksperyans yo te montre ke nan mouvman vantilasyon, patikil yo swiv mouvman an vantilasyon nan prèske menm vitès la. Se eta a nan patikil yo nan lè a detèmine pa distribisyon an vantilasyon. Airflows yo ki afekte patikil andedan kay la gen ladan yo: Airflow ekipman pou lè (ki gen ladan vantilasyon prensipal ak vantilasyon segondè), vantilasyon ak tèmik konveksyon vantilasyon ki te koze pa moun ki mache, ak vantilasyon an ki te koze pa operasyon pwosesis ak ekipman endistriyèl. Metòd diferan ekipman pou lè, interfaces vitès, operatè yo ak ekipman endistriyèl, ak fenomèn pwovoke nan chanm pwòp yo tout faktè ki afekte nivo a pwòpte.
Faktè ki afekte òganizasyon vantilasyon an
1. Enfliyans nan metòd ekipman pou lè
(1). Vitès ekipman pou lè
Pou asire vantilasyon inifòm, vitès ekipman pou lè a dwe inifòm nan yon chanm pwòp unidirectional; Zòn ki mouri nan sifas ekipman pou lè a dwe piti; ak gout nan presyon nan ULPA a dwe tou inifòm.
Inifòm vitès ekipman pou lè a: ki se, se inegalite nan vantilasyon an kontwole nan ± 20%.
Mwens zòn mouri sou sifas la ekipman pou lè: Se pa sèlman yo ta dwe zòn nan avyon nan ankadreman an ULPA redwi, men pi enpòtan, FFU modilè yo ta dwe adopte yo senplifye ankadreman an redondants.
Pou asire vètikal vantilasyon unidirectional, seleksyon an gout presyon nan filtre a se tou trè enpòtan, ki egzije ke pèt la presyon nan filtre a pa ka devye.
(2). Konparezon ant sistèm FFU ak sistèm fanatik axial koule
FFU se yon inite ekipman pou lè ak yon fanatik ak yon filtre (ULPA). Apre yo fin lè a aspire nan pa fanatik la santrifujeur nan FFU, se presyon an dinamik konvèti nan presyon estatik nan adezif lè ak kònen soti respire pa ULPA. Presyon nan ekipman pou lè sou plafon an se presyon negatif, se konsa ke pa gen okenn pousyè ap koule nan chanm nan pwòp lè se filtre a ranplase. Eksperyans yo te montre ke sistèm nan FFU se siperyè a sistèm nan fanatik axial koule an tèm de inifòmite priz lè, paralelis airflow ak endèks efikasite vantilasyon. Sa a se paske paralelis nan vantilasyon nan sistèm nan FFU se pi bon. Itilize nan sistèm nan FFU ka fè vantilasyon an nan chanm nan pwòp pi byen òganize.
(3). Enfliyans nan estrikti pwòp FFU a
FFU se sitou ki konpoze de fanatik, filtè, aparèy gid Airflow ak lòt konpozan. Filtre a ultra-segondè filtre ULPA se garanti ki pi enpòtan pou si wi ou non chanm nan pwòp ka reyalize pwòpte ki nesesè nan konsepsyon an. Materyèl la nan filtre a pral tou afekte inifòmite nan jaden an koule. Lè yon materyèl filtre koryas oswa se yon plak koule laminèr ajoute nan priz la filtre, jaden an koule priz ka fasil fè inifòm.
2. Enpak nan interfaces vitès diferan nan pwòpte
Nan menm chanm nan pwòp, ant zòn nan k ap travay ak zòn ki pa travay nan koule vètikal unidirectional, akòz diferans lan nan vitès lè a nan priz la ULPA, yon efè toubiyon melanje yo pral pwodwi nan koòdone a, ak koòdone sa a ap vin yon ajite ajite. Zòn koule lè ak entansite patikilyèman segondè ajitasyon lè. Patikil yo ka transmèt nan sifas ekipman an epi kontamine ekipman ak gato yo.
3. Enpak anplwaye ak ekipman
Lè chanm pwòp la vid, karakteristik yo ki koule lè nan chanm nan jeneralman satisfè kondisyon yo ki konsepsyon. Yon fwa ekipman an antre nan chanm pwòp la, pèsonèl deplase ak pwodwi yo transmèt, pral gen inevitableman dwe obstak nan òganizasyon an koule lè. Pou egzanp, nan kwen yo ki vle pèse anvlòp oswa bor nan ekipman an, gaz la pral detounen yo fòme yon zòn ajite, ak likid la nan zòn nan pa fasil pote ale nan gaz la, konsa sa ki lakòz polisyon. An menm tan an, sifas la nan ekipman an pral chofe akòz operasyon kontinyèl, ak gradyan nan tanperati a pral lakòz yon zòn reflow tou pre machin nan, ki pral ogmante akimilasyon nan patikil nan zòn nan reflow. An menm tan an, tanperati a segondè pral fasil lakòz patikil yo chape. Efè a doub agrave difikilte pou la nan kontwole an jeneral pwòpte a laminè vètikal. Pousyè ki soti nan operatè yo nan chanm nan pwòp se trè fasil konfòme yo ak gato yo nan zòn sa yo reflow.
4. Enfliyans nan etaj lè retounen
Lè rezistans nan lè retounen pase nan etaj la se diferan, yo pral yon diferans presyon dwe pwodwi, se konsa ke lè a ap koule nan yon direksyon ki nan mwens rezistans, ak inifòm vantilasyon pa pral jwenn. Metòd aktyèl konsepsyon popilè a se pou itilize planche ki wo. Lè pousantaj la ouvèti ki nan planche ki wo se 10%, vitès la vantilasyon nan wotè a ap travay nan sal la ka respire distribye. Anplis de sa, yo ta dwe peye atansyon strik nan travay netwayaj diminye sous la polisyon nan etaj la.
5. fenomèn endiksyon
Sa yo rele fenomèn nan endiksyon refere a fenomèn la ki vantilasyon an nan direksyon opoze a nan koule nan inifòm se pwodwi, epi li se pousyè tè a ki te pwodwi nan chanm nan oswa pousyè tè a nan zòn nan adjasan ki kontamine pwovoke nan bò a upwind, se konsa ke pousyè tè a ka kontamine chip la. Sa ki anba la yo se fenomèn yo endiksyon posib:
(1). Plak avèg
Nan yon chanm pwòp ak koule vètikal unidirectional, akòz jwenti yo sou miray la, gen jeneralman gwo plak avèg ki pral jenere ajitasyon nan koule nan retounen lokal yo.
(2). Lanp
Enstalasyon yo ekleraj nan chanm nan pwòp pral gen yon pi gwo enpak. Depi chalè a nan lanp fliyoresan lakòz vantilasyon an ap monte, pa pwal gen okenn zòn ajite anba lanp yo fliyoresan. Anjeneral, lanp yo nan chanm nan pwòp yo fèt nan yon fòm teardrop diminye enpak la nan lanp yo sou òganizasyon an vantilasyon.
(3.) twou vid ki genyen ant mi yo
Lè gen twou vid ki genyen ant Partitions ak diferan nivo pwòpte oswa ant Partitions ak plafon, pousyè ki soti nan zòn nan ak kondisyon pwòpte ki ba yo ka transfere nan zòn nan adjasan ak kondisyon pwòpte segondè.
(4). Distans ant machin lan ak etaj la oswa miray la
Si diferans ki genyen ant machin lan ak etaj la oswa miray la piti anpil, li pral lakòz ajitasyon detant. Se poutèt sa, kite yon espas ant ekipman an ak miray la ak ogmante machin nan pou fè pou evite kite machin nan manyen tè a dirèkteman.
Post tan: Feb-05-2025