Pousantaj rannman chip nan endistri fabrikasyon IC a gen yon relasyon sere avèk gwosè ak kantite patikil lè ki depoze sou chip la. Yon bon òganizasyon koule lè a ka retire patikil ki pwodui pa sous pousyè a lwen chanm pwòp la pou asire pwòpte chanm pwòp la, sa vle di, òganizasyon koule lè a nan chanm pwòp la jwe yon wòl vital nan to rannman pwodiksyon IC. Konsepsyon òganizasyon koule lè a nan chanm pwòp la bezwen reyalize objektif sa yo: diminye oswa elimine kouran toubiyon an nan chan koule a pou evite retansyon patikil danjere; kenbe yon gradyan presyon pozitif ki apwopriye pou anpeche kontaminasyon kwaze.
Fòs koule lè a
Selon prensip chanm pwòp la, fòs ki aji sou patikil yo gen ladan yo fòs mas, fòs molekilè, atraksyon ant patikil yo, fòs koule lè a, elatriye.
Fòs koule lè a: refere a fòs koule lè a ki koze pa livrezon an, koule lè retou a, koule lè konveksyon tèmik la, brase atifisyèl la, ak lòt koule lè ki gen yon sèten vitès pou pote patikil yo. Pou kontwòl teknik anviwònman chanm pwòp la, fòs koule lè a se faktè ki pi enpòtan an.
Eksperyans yo montre ke nan mouvman koule lè a, patikil yo swiv mouvman koule lè a prèske menm vitès la. Eta patikil yo nan lè a detèmine pa distribisyon koule lè a. Kouran lè ki afekte patikil andedan kay la yo sitou gen ladan yo: koule lè pou founi lè (ki gen ladan koule lè prensipal ak koule lè segondè), koule lè ak koule lè konveksyon tèmik ki koze pa moun k ap mache, ak koule lè ki koze pa operasyon pwosesis ak ekipman endistriyèl. Diferan metòd founi lè, koòdone vitès, operatè ak ekipman endistriyèl, ak fenomèn pwovoke nan chanm pwòp yo se tout faktè ki afekte nivo pwòpte a.
Faktè ki afekte òganizasyon koule lè a
1. Enfliyans metòd ekipman pou lè a
(1). Vitès ekipman pou lè a
Pou asire yon sikilasyon lè inifòm, vitès ekipman pou lè a dwe inifòm nan yon chanm pwòp unidireksyonèl; zòn mò sifas ekipman pou lè a dwe piti; epi gout presyon nan ULPA a dwe inifòm tou.
Vitès inifòm nan koule lè a: sa vle di, inegalite koule lè a kontwole nan ±20%.
Mwens zòn mò sou sifas ekipman pou lè a: non sèlman yo ta dwe diminye sifas plan ankadreman ULPA a, men pi enpòtan, yo ta dwe adopte modilè FFU pou senplifye ankadreman redondan an.
Pou asire yon sikilasyon lè inidireksyonèl vètikal, seleksyon gout presyon filtè a trèzenpòtan tou, sa ki mande pou pèt presyon nan filtè a pa ka devye.
(2). Konparezon ant sistèm FFU ak sistèm vantilatè koule axial
FFU se yon inite ekipman pou lè ak yon vantilatè ak yon filtè (ULPA). Apre vantilatè santrifij FFU a fin aspire lè a, presyon dinamik la konvèti an presyon estatik nan kanal lè a epi ULPA a soufle l respire. Presyon ekipman pou lè a sou plafon an se yon presyon negatif, kidonk pa gen pousyè ki pral koule nan chanm pwòp la lè yo ranplase filtè a. Eksperyans yo montre ke sistèm FFU a siperyè sistèm vantilatè koule axial la an tèm de inifòmite sòti lè a, paralelis koule lè a ak endis efikasite vantilasyon an. Sa a se paske paralelis koule lè sistèm FFU a pi bon. Itilizasyon sistèm FFU a ka fè koule lè a nan chanm pwòp la pi byen òganize.
(3). Enfliyans pwòp estrikti FFU a
FFU a konpoze sitou de fanatik, filtè, aparèy gid koule lè ak lòt konpozan. Filtè ultra-wo efikasite ULPA a se garanti ki pi enpòtan pou si chanm pwòp la ka reyalize pwòpte konsepsyon an mande a. Materyèl filtè a ap afekte tou inifòmite chan koule a. Lè yo ajoute yon materyèl filtè koryas oswa yon plak koule laminè nan sòti filtè a, chan koule sòti a ka fasil pou fè inifòm.
2. Enpak diferan vitès entèfas pwòpte
Nan menm chanm pwòp la, ant zòn travay la ak zòn ki pa travay kote koule lè a inidireksyonèl vètikal la ap koule, akòz diferans nan vitès lè a nan sòti ULPA a, yon efè toubiyon melanje pral pwodui nan koòdone a, epi koòdone sa a pral vin tounen yon zòn koule lè ajite ak yon entansite toubiyon lè patikilyèman wo. Patikil yo ka transmèt sou sifas ekipman an epi kontamine ekipman an ak waf yo.
3. Enpak pèsonèl ak ekipman yo
Lè chanm pwòp la vid, karakteristik koule lè a nan chanm nan jeneralman satisfè egzijans konsepsyon yo. Yon fwa ekipman an antre nan chanm pwòp la, pèsonèl yo deplase epi pwodwi yo ap transpòte, inevitableman pral gen obstak nan òganizasyon koule lè a. Pa egzanp, nan kwen oswa bor ekipman ki depase yo, gaz la pral detounen pou fòme yon zòn ajite, epi likid ki nan zòn nan pa fasil pou gaz la pote ale, sa ki lakòz polisyon. An menm tan, sifas ekipman an pral chofe akòz operasyon kontinyèl, epi gradyan tanperati a pral lakòz yon zòn refli toupre machin nan, ki pral ogmante akimilasyon patikil nan zòn refli a. An menm tan, tanperati ki wo a pral fasilman lakòz patikil yo chape. Doub efè a agrave difikilte pou kontwole pwòpte laminè vètikal jeneral la. Pousyè ki soti nan operatè yo nan chanm pwòp la trè fasil pou kole sou waf yo nan zòn refli sa yo.
4. Enfliyans lè retou planche a
Lè rezistans lè retou a ki pase nan planche a diferan, yon diferans presyon ap pwodui, konsa lè a ap koule nan direksyon ki gen mwens rezistans lan, epi yo p ap jwenn yon sikilasyon lè inifòm. Metòd konsepsyon ki popilè kounye a se sèvi ak planche ki wo. Lè to ouvèti planche ki wo yo se 10%, vitès sikilasyon lè a nan wotè travay chanm nan ka distribye respire. Anplis de sa, yo ta dwe peye anpil atansyon sou travay netwayaj la pou diminye sous polisyon planche a.
5. Fenomèn endiksyon
Sa yo rele fenomèn endiksyon an refere a fenomèn kote yon koule lè nan direksyon opoze ak koule inifòm nan pwodui, epi pousyè ki pwodui nan chanm nan oswa pousyè ki nan zòn kontamine adjasan an pwovoke nan bò van an, pou pousyè a ka kontamine chip la. Men fenomèn endiksyon posib yo:
(1). Plak avèg
Nan yon chanm pwòp ak yon koule vètikal unidireksyonèl, akòz jwenti yo sou miray la, jeneralman gen gwo plak avèg ki pral jenere tourbiyon nan koule retou lokal la.
(2). Lanp
Aparèy ekleraj ki nan chanm pwòp la ap gen yon pi gwo enpak. Piske chalè lanp fliyoresan yo lakòz koule lè a monte, p ap gen okenn zòn ajitasyon anba lanp fliyoresan yo. Anjeneral, lanp ki nan chanm pwòp la yo fèt nan fòm gout dlo pou diminye enpak lanp yo sou òganizasyon koule lè a.
(3.) Espas ant mi yo
Lè gen espas ant patisyon ki gen diferan nivo pwòpte oswa ant patisyon ak plafon, pousyè ki soti nan zòn ki gen ti egzijans pwòpte a ka transfere nan zòn adjasan an ki gen gwo egzijans pwòpte.
(4). Distans ant machin nan ak planche a oswa miray la
Si espas ki genyen ant machin nan ak planche a oswa miray la twò piti, sa ap lakòz yon ti toubiyon rebondisman. Se poutèt sa, kite yon espas ant ekipman an ak miray la epi leve machin nan pou evite kite machin nan touche tè a dirèkteman.
Dat piblikasyon: 5 Fevriye 2025